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    产品展示
    ZZS系列箱式真空镀膜机
    • 用途及特点
    • 规格参数
      简 介
       
      成都南光机器有限公司ZZS系列箱式真空镀膜机,经过四十多年的发展,形成了真空镀膜室尺寸从350毫米到3600毫米的箱式真空镀膜机系列产品。广泛应用于企业、科研院所、大专院校的科研和量产化生产领域,是镀制多层光学薄膜、电学薄膜的理想设备。
       
      产品特点

      ●采用箱式结构,真空系统后置,便于操作和维修;整机表面平整,方便清洁,特别适合放置在净化间内做穿墙式安装。

      ●设备真空系统抽速大,具有抽气时间短,真空度高,生产周期短等优点。

      ●采用管状加热器上烘烤,烘烤温度均匀,寿命长,可达到******烘烤温度350℃,烘烤均匀性270℃±10℃。

      ●工件转动采用上部中心驱动,轴承带水冷,磁流体密封,转动平稳可靠。

      ●采用石英晶体膜厚控制仪,可实现镀膜过程的自动控制。

      ●采用先进的镀膜控制系统,人机操作界面美观实用,系统稳定可靠,可实现系统的手动、半自动和全自动操作。
       
      适用范围
       
      ●用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜
       
      常用标准配置
       
      ●以下表格内容为我公司五种常用标准机型的配置及指标,多年来我公司先后开发了350、450、500、550、630、700、800、900、1100、1250、1300、1500、1800、2200、2500、3600尺寸系列的箱式真空镀膜机。为满足广大用户的不同需求,我公司可接受多种形式的真空镀膜机的定制要求,包括对真空室体尺寸、真空系统配置、工件夹具系统、工件烘烤系统、膜厚监控系统、蒸发源系统、充气系统、离子源系统以及电气控制系统的特殊定制。
      ZZS系列箱式真空镀膜机
      Series ZZS Box-type Vacuum Coating Machine
       
      常用标准配置表
      Standard configurations for common use
      型  号
      Model
      ZZS600 ZZS700 ZZS800 ZZS900 ZZS1100 ZZS1300 ZZS1800
      真空室尺寸(直径×高)
      Size of the vacuum chamber (diameter× height)
      Φ600×750 Φ710×850 Φ800×900 Φ900×1000 Φ1100×1300 Φ1300×1300 Φ1800×2000
      极限真空度
      Ultimate vacuum degree
      ≤3.0×10-4Pa
      恢复真空时间
      Time for vacuum recovery
      4.0×10-3Pa≤15min
      抽气系统
      Pumping system
      扩散泵 Diffusion pump K-400 TK-500
       K-600 
      K-630 TK-500×2 K-630×2 K-800×2
      罗茨泵 Roots pump       ZJP-150 ZJP-300 ZJP-300 ZJP-1200
      机械泵 Mechanical pump 2X-30 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70,H-150×2
      真空测量系统
      Vacuum measuring system
      配三路数字复合真空计,两路低真空,一路高真空
      Three-way digital compound vacuum gauge, two ways of low vacuum and one of high vacuum
      操作方式
      Operation mode
      手动/自动
      Manual/automatic
      工件夹具
      Work piece holder
      Φ600 Φ640 Φ750 Φ840 Φ1040 Φ1240 Φ1720
      工件烘烤系统
      Work piece baking system
      上烘烤,铠装管状加热器加热,******温度350℃,PID自动控温及显示
      Up baking; heated by sheathed tubular heating element; maximum temperature 350℃; PID automatic temperature control and display.
      蒸发源
      Evaporation source
       
      电阻蒸发源
      Resistance evaporation source
      电阻蒸发源功率4KW(8V、600A)
      Power of the resistance evaporation source: 4KW (8V, 600A)
      电子束蒸发源
      Electron beam evaporation source
       
      E型电子束蒸发源,功率6~10KW
      Power of E-type electron beam evaporation source: 6-10KW
      膜厚监控系统
      Monitoring system on depth of films
      光学膜厚监控,波长范围380-800nm,9透反射光路,六位电动比较片带显示;石英晶体膜厚监控,美国SQC-310、IC/6
      The optical film thickness monitor, a wavelength range of 380-800nm, 9transflective optical path, six electric comparison sheet with display; quartz crystal thickness monitoring, the United States SQC-310, IC / 6
      充气系统 charge systems 自动压强仪2~510-2Pa
      Automatic pressure instrument
      质量流量计:单路单显,双路双显
      Mass flow meter: one way one display, dual way dual display
      离子辅助(选配)
      Ion-assisted (optional)
      H6霍尔离子源、H10霍尔离子源、Φ12cm考夫曼离子源、Φ16cm考夫曼离子源
      H6 Hall ion source, H10 Hall ion source, Φ12cm Kaufman ion source, Φ16cm Kaufman ion source
      深冷捕集器(选配)
      Cryogenic trap (optional)
      国产12P、国产15P、进口POLYCOLD550、进口POLYCOLD670
      Domestic 12P, 15P, POLYCOLD 550, POLYCOLD 670
       
      动力需求
      Power demand
      冷却水
      Cooling water
      压力温度
      Pressure and temperature
      压力:0.25~0.35MPa;温度≤25℃
      Pressure: 0.25-0.35MPa; temperature ≤25℃
      流量
      Flow rate
      ≥50L/min ≥60L/min ≥80L/min ≥100L/min ≥140L/min ≥160L/min ≥180L/min
      压缩空气
      Compressed air
      压力:0.5~0.7MPa
      Pressure: 0.5-0.7MPa
      ******消耗电力
      Maximum power consumption
      ~25KW ~35KW ~40KW ~45KW ~50KW ~60KW ~120KW
      设备外形尺寸(宽×深×高)
      Overall dimension (width×depth×height)
      2100×1800×2000 3350×2600×2370 3580×3000×2450 3870×3600×2670 3870×3600×2670 3900×4050×2950 4400×4000×3600
      设备总重(KG)
      Gross weight (Kg)
       
      约1500
      About 1,500
      约2000
      About 2,000
      约2500
      About 2,500
      约3000
      About 3,000
      约3000
      About 3,000
      约4000
      About 4,000
      约6000
      About 4,000
       
       
       

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