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    产品展示
    F型涡轮分子泵
    • 用途及特点
    • 规格参数
      产品用途:Product Applications
       
      ●涡轮分子泵用于高真空和超高真空,它不能直接对大气排气,需要配置前级泵。
       
      主要应用领域:Main applications:
       
      ●表面物理和分析仪器
      ●等离子体物理,空间研究
      ●核聚变装置
      ●原子束分子束系统,粒子加速器
      ●真空镀膜
      ●真空冶炼
      ●半导体和光学器件制造

      产品特点:Product Features
       
      ●体积小,安装和使用方便
      ●理想的动平衡,震动和噪音小
      ●压力在10-1~10-8pa范围内有恒定的抽速
      ●陶瓷轴承使用寿命长
      F型涡轮分子泵
      Model F Vertical  Turbomolecular  Pump
      技术参数Technical specifications:
      型号 
      Model
      FC-150/450 FG-150/450 FC-250/1400 FG-250/1400 F-400B/3500
      进气口法兰 
      Inlet flange  (mm)
      DN160CF DN160LF DN250CF DN250LF DN400LF
      出气口法兰 
      Oulet flange  (mm)
      DN40KF DN63LF DN100LF
      抽气速度  
      Pumping speed  (L/S)
      450 1400 3500
      极限压力
      Ultimate pressure
      不烘烤
      Without baking  (Pa)
      6×10-6 6×10-6 6×10-6
      压缩比
      Compression ratio
      对N2 108 108 108
      对H2 102 102 102
      转速RPM   (r/min) 24000 24000 14100
      起动时间  
      Start-up time <(Min)
      5 10 20
      前级压力  
      Fore pressure <(Pa)
      10 10 10
      建议采用的前级泵
      Recommended backing pump  (L/s)
      8 15 30
      冷却水温度
      Cooling water temperature <(℃)
      ≤25 ≤25 ≤25
      冷却水压力
      Cooling water pressure (Mpa)
      0.196 0.196 0.196
      泵体烘烤温度
      Temperature of baking <(℃)
      120 120 120
      重量  
      Weight(Kg)
      35 70 125
       

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