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    产品展示
    RK DZQ270-1A电子束蒸发源
    • 用途及特点
    • 规格参数
      产品特点
       
      ●RK DZQ270-1A型电子***为开放式电子***,可以和任意穴位坩埚配用;
      ●采用270度内藏式灯丝,有效避免了熔料对灯丝的污染,提高了灯丝的寿命;
      ●配有专用水冷结构对永磁体进行冷却保护,确保束流长时间稳定工作;
      ●维护保养简捷方便,配有更换灯丝的专用工装。
      技术指标
       
      ●加速电压:-6KV~-10KV
      ●******电子束流:1A
      ●******功率:10KW
      ●电子束偏转角:270°
      ●电子束扫描范围:15mm×15mm(X/Y)
      ●冷却水速率:******速度8L/分(水温在15℃~25℃,压差不低于0.1MPa,******压力不高于0.3MPa)
      ●气密性:漏率不高于1.33×10-5Pa.L/S
      ●工作真空度范围:5×10-4Pa~5×10-2Pa
      ●外形尺寸:W148×H158×Dl84(mm)
      ●重量:约10Kg

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