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    产品展示
    RK GGC-D10坩埚传动装置
    • 用途及特点
    • 规格参数
      产品特点
       
      ●'RK GGC-D10型坩埚传动装置为外置式传动系统;
      ●整个装置分为坩埚水冷部分和传动部分(如图);两部分结构模块化构成两个整体,对安装、拆卸、维护、修理特别方便简捷。
      ●可承载实际情况下的任意穴位的坩埚;
      ●满足传动轴动密封和磁流体密封互换,任意选用;
      ●坩埚可从真空室体上方取出,方便清洁维护;
      ●强大扭矩有效防止步进电机丢步情况发生。
      技术指标
       
      ●安装条件:竖直安装;真空室底板开孔为φ40mm~φ60mm;
      ●采用减速电机传动:减速器减速比为1:32,电机为步进电机;
      ●传动方式:中心主轴传动;
      ●冷却水速率:10L/分~20L/分(水温需在15℃~25℃);
      ●转动扭矩:74Nm。

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